Obtention de cartes de mise à plat des DMs du banc SPEED (Kilo-C DMs de chez Boston Micromachines) pour différents voltages moyen. Les cartes sont obtenues en utilisant un interféromètre ZYGO Verifire installé sur le banc SPEED. De gauche à droite: aucune tension appliquée, 60 Volts et 150 Volts (tension moyenne). La qualité de surface obtenue, évaluée sur la surface active du DM, varie suivant les cas entre 10 et 30 nm rms.
